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当前产品LDI-无掩模激光成象光刻机
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广泛应用多种微纳光刻加工领域的研究与生产,光刻最小线宽600nm,套刻对准精度500 nm器件直写光刻功能。适用于小批量、多品种的研发单位与实验室使用。
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