

产品详情
应用范围: | *半导体(Semiconductor) *微机电(MEMS) *被动组件(Passive Component) *触控面板(Touch Panel) *显示器(Display Panel) *发光二极管(LED) |
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规格: | *Exposure light source: 350W、500W、1KW、2KW *Substrate Size 2”~8”、8”~12” *Uniformity: ≦5% *Alignment Accuracy: +- 1um *Throughput:≧60 wph |
采用对位与光学系统,提供研发单位和使用光刻工艺所需要的弹性设备。适用工业4.0大数据收集。