

产品详情
应用范围: | 半导体(Semiconductor)、微机电(MEMS) 被动组件(Passive Component)、触控面板(Touch Panel) 显示器(Display Panel)、发光二极管(LED) |
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基本规格: | Exposure light source: 3.5KW、5KW、8KW、10KW Substrate Size 2”~8”、8”~12” Uniformity: ≦ 5% Alignment Accuracy: ± 1um Throughput: ≧90 wph |
采用对位与光学系统,提供生产单位所需要的低成本、高效率设备。适用工业4.0大数据收集。