教学型真空镀膜机

SVZK-300型多功能真空实验仪是一个真空实验平台，适合于对学生开展真空实验教学。可进行真空蒸镀、磁控溅射，它也可以在高纯

氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析。传统的真空实验仪器大都由金属部

件组成，很多主要的实验过程不直观，学生只能通过仪表了解物理过程。本设备真空室部分采用高强度玻璃制造，仪器结构紧凑合理，操作

简单，物理过程直观，容易引起学生的兴趣，利于提高学生的实验能力和理论联系实际的能力。

可开设的实验：
1、真空的获得与测量；2、蒸发法薄膜制备 3、直流磁控溅射镀膜

设备的组成：

SVZK-300型多功能真空实验仪由电气控制系统与真空系统组成，其中电气控制系统包括控制电路、真空测量仪与测量仪表；真空系统

包括玻璃真空室、真空管路、真空机组（直联机械旋片泵和分子泵构成二级真空系统）、真空测量。