晶圆单片式清洗机

1.自主研发的智能精准的传输控制系统

2. 全自动化学品集中供液系统（CDS）

3. 药液溢流设计，减少单片药液用量，降低使用成本

4. 清洗效果强，清洗良品率≥99%

5. 可选配多组合的晶圆清洗工艺

6. 对颗粒管控能力，≥0.1μm颗粒少于15颗

7. 药液槽采用双槽体设计，可实现精确控温

8. 独立控制废液排气，有效保护人员作业