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当前产品全自动涂胶机

全自动涂胶机

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  • 公司名称芯米(厦门)半导体设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地厦门市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/11/12 16:42:00
  • 访问次数4
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产品详情

  • 基片尺寸
    ψ50mm~ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2-4个晶舟
  • Coater Unit 涂胶单元
    1、PR类型:正胶/ 负胶 ;2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个; 3、EBR ( Edge Bead Remover ); 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm; 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 机械手臂
    3轴; X1, X2, X3
  • Hot Plate热盘单元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盘单元
    溫度18-28℃
  • 涂布机台尺寸
    D1400× W1500 × H2300 (mm)

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    芯米(厦门)半导体设备有限

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    商家概况

    主营产品:
    led显影机
    公司性质:
    其他

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